Dostarczany przez nas precyzyjny stół krzyżowy LMX stosowany jest do symultanicznej inspekcji płytek krzemowych.
Indywidualizowany stół krzyżowy pozycjonuje z mikrometrową dokładnością za pomocą swojej ultrapłaskiej osi obrotowej w kierunkach X i Y oraz działa z bardzo szybkim przyspieszeniem 1 g. Zamontowane fundamencie z granitu, nasze prowadnice liniowe, silniki liniowe i stół obrotowy tworzą jednostkę ruchową, która przy minimalnej wysokości konstrukcyjnej i jednocześnie maksymalnej średnicy wewnętrznej, przejmuje zarówno proste zadania manipulacyjne, jak i bardzo precyzyjne zadania pozycjonowania.
Indywidualizowany stół krzyżowy pozycjonuje z mikrometrową dokładnością za pomocą swojej ultrapłaskiej osi obrotowej w kierunkach X i Y oraz działa z bardzo szybkim przyspieszeniem 1 g. Zamontowane fundamencie z granitu, nasze prowadnice liniowe, silniki liniowe i stół obrotowy tworzą jednostkę ruchową, która przy minimalnej wysokości konstrukcyjnej i jednocześnie maksymalnej średnicy wewnętrznej, przejmuje zarówno proste zadania manipulacyjne, jak i bardzo precyzyjne zadania pozycjonowania.
Wymagania:
- Ruchy z mikrometrową dokładnością
- Ekstremalnie wysoki e przyspieszenia
- Wysoka precyzja i powtarzalna dokładność
Komponenty HIWIN:
- Stół obrotowy DMT
- Prowadnice szynowe HG
- System pomiaru drogi
- Silniki liniowe LMC
Zakresy zastosowania: